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硅微机械传感器

Posted on 2010-04-28




Name:硅微机械传感器
ASIN/ISBN:B0011C7YZA
Author:M.ELWENSPOEK
Language:简体中文
File size:2.15 Mb
   硅微机械传感器

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此书为陶家渠译本。

本书详细描述了多种的工作原理。因为设计和制造传感器需要多学科的知识,只有经过电学、机械工程、物理和化学培训的工程师才能够进入这个领域并胜任此项工作。为了满足这个需求,本书从有关设计所需的基本科学知识开始,论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识,并用压力传感器、力学传感器、加速度计、陀螺和流体传感器的众多例子说明了设计、制造和性能方面的有关问题。

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